エンジニアの皆さん、ようこそ！！
本プログラムは光学装置の検討に必要な位置決め機構の応答特性の計算、波動光学理論に基づいた
投影像の光強度分布計算、レンズ・ミラー光学系の光線追跡の計算ソフトです。
・動作環境：Windows98,WindowsXP
・EXCEL97以上のバージョンのプログラムが実装されている必要があります。
・CPUクロック：300MHz以上（できるだけ高速のCPUを推奨します。）
(1)フォルダー「komoriya」をフォルダーごとCドライブのすぐ下にコピーし、貼り付けてください。（Cドライブのすぐ下以外は動作しません。）
(2)削除する場合はフォルダーごと削除して下さい。
(1)フォルダー「Vba」内の目的の操作用EXCELファイルをダブルクリックで起動します。
この時マクロは有効にして開いて下さい。
(2)計算条件設定シート「IN_FM」の計算条件を設定します。
(3)計算実行ボタンをクリックします。
・円板.dll：円板の撓みを計算するダイナミックリンクライブラリーです。
・ｽﾃｰｼﾞ1.dll：ボールネジ駆動のXYステージの応答特性を計算するダイナミックリンクライブラリーです。
・ｽﾃｰｼﾞ2.dll：リニアモータ駆動のXYステージ（理想条件）の応答特性を計算するダイナミックリンクライブラリーです。
・ｽﾃｰｼﾞ3.dll：リニアモータ駆動のXYステージ（ベース質量考慮）の応答特性を計算するダイナミックリンクライブラリーです。
・近接露光.dll：近接露光における光強度分布を計算するダイナミックリンクライブラリーです。
・投影露光.dll：投影露光における光強度分布を計算するダイナミックリンクライブラリーです。
・光線追跡.dll：光学系の光線追跡を計算するダイナミックリンクライブラリーです。
・IN_FM.txt：データ受け渡し用のバッファファイルです。
・IN_FM2.txt：データ受け渡し用のバッファファイルです。
・OUT_M.xls：データ受け渡し用のバッファファイルです。
・OUT_MR.xls：データ受け渡し用のバッファファイルです。
・OUT_MI.xls：データ受け渡し用のバッファファイルです。
・円板.xls：円板の撓みを計算するための操作用のプログラムです。
・ｽﾃｰｼﾞ1.xls：ボールネジ駆動のXYステージの応答特性を計算するための操作用のプログラムです。
・ｽﾃｰｼﾞ2.xls：リニアモータ駆動のXYステージ（理想条件）の応答特性を計算するための操作用のプログラムです。
・ｽﾃｰｼﾞ3.xls：リニアモータ駆動のXYステージ（ベース質量考慮）の応答特性を計算するための操作用のプログラムです。
・近接露光.xls：近接露光における光強度分布を計算するための操作用のプログラムです。
・投影露光.xls：投影露光における光強度分布を計算するための操作用のプログラムです。
・光線追跡.xls：光学系の光線追跡を計算するための操作用のプログラムです。
(1)本プログラムは計算の操作を行うためのEXCELのVbaプログラムと実際の計算を行うダイナミックリンクライブラリーで構成してあります。
(2)EXCELのVbaプログラムでは計算条件シート「IN_FM」のデータをバッファファイルにコピーした上で実際の計算を行うダイナミックリンクライブラリーを呼び出します。
(3)ダイナミックリンクライブラリーはバッファファイルの計算条件で計算した結果をバッファファイルに出力します。
(4)EXCELのVbaプログラムで計算結果のバッファファイルの内容をシート「OUT_M」にコピーします。
Declare Sub main1 Lib "C:\komoriya\円板.dll" ()
上の文でディレクトリー"C:\komoriya\円板.dll"にmain1というサブルーチンがあることを定義します。
実行ボタンを押すと以下のサブルーチンが実行されます。
Sub 実行()
’前処理の命令を省略
main1 '計算実行
’後 前処理の命令を省略
End Sub