13章:近接露光演算演習(1)

  1. 近接露光演算プログラム
     この章を実行するには、下記の近接露光計算プログラムをダウンロード する必要があります。

     ダウンロード後はダブルクリックで解凍してから使用してください。
     
    「近接露光計算プログラムをダウンロードする。

    1. ファイル構成
    (1)VBA_C_OPTICSフォルダー
    (1-1)VBA_C近接露光.dll
    ・近接露光の演算を実行します。

    (1-2)IN_FM.txt
    ・近接露光の演算パラメータの受け渡しを行います。

    (2)VBA_C近接露光計算.xls
      ・演算パラメータの設定
    ・近接露光の演算開始(VBA_C近接露光.dllを起動)
    ・演算結果の表示

    2. 動作環境・使用条件
    (1)本プログラムの動作条件
    ・動作環境:Windows98,WindowsXP
    ・EXCEL97以上のバージョンのプログラムが実装されている必要があります。

    3.設定方法
    (1)フォルダー「VBA_C_OPTICS」をフォルダーごとコピーし、 C:\Program Filesフォルダー内貼り付けてください。
    C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\VBA_C近接露光.dll
    C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\IN_FM.txt
    が存在する必要があります。

    (2) VBA_C近接露光計算.xlsは保存場所の制限がありません。

    (3)本プログラムの削除方法
    C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\VBA_C近接露光.dll
    C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\IN_FM.txt
    を削除してください。

    4.プログラムの起動方法
    (1)VBA_C近接露光計算.xlsをダブルクリックで起動します。この時マクロは有効にして開いて下さい。
    (2)計算条件設定シート「IN_FM」の計算条件を設定します。
    (3)計算実行ボタンをクリックします。


  2. 近接露光演習1
    問題:図11.1近接露光演習1に示す開口の回折条件において、照明角度分布が±0rad、±0.015rad、±0.03radの場合の観測面での光強度分布を求めよ。
     観測面では±20μmの範囲を40分割し1μm刻みで計算するものとする。
     また、光の波長は404.7nmとします。

    解答:
    (1)表11-1に示す入力条件表を作成します。
    シート「近接露光演習1」を参照願います。



    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「近接露光演習1」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)INA=0radの計算実行結果を確認します。

    (5)シート「IN_FM」をINA=0.015radに変更します。
    (6)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (7)INA=0.015radの計算実行結果を確認します。

    (8)シート「IN_FM」をINA=0.03radに変更します。
    (9)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (10)INA=0.03radの計算実行結果を確認します。

     近接露光演習1の計算結果を図13-2、13-3、13-4に示します。
    ・照明角度分布が±0rad場合、光の干渉の影響が強く、パターンがぎざぎざになることがわかります。
    ・照明角度分布が±0.015rad場合、光の干渉の影響が軽減され、分布が滑らかになります。
    ・照明角度分布が±0.03rad場合、光の傾斜の影響が強くなり、分布が広がってしまいます。

     パターンサイズ、ギャップ量、波長により最適な照明角度分布の値が存在します。



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