近接露光演算プログラムこの章を実行するには、下記の近接露光計算プログラムをダウンロード する必要があります。
ダウンロード後はダブルクリックで解凍してから使用してください。
「近接露光計算プログラムをダウンロードする。１． ファイル構成
（１）VBA_C_OPTICSフォルダー
（1-1）VBA_C近接露光.dll
・近接露光の演算を実行します。
（1-2）IN_FM.txt
・近接露光の演算パラメータの受け渡しを行います。
（２）VBA_C近接露光計算.xls
・演算パラメータの設定
・近接露光の演算開始（VBA_C近接露光.dllを起動）
・演算結果の表示
２． 動作環境・使用条件
（１）本プログラムの動作条件
・動作環境：Windows98,WindowsXP
・EXCEL97以上のバージョンのプログラムが実装されている必要があります。
３．設定方法
(１)フォルダー「VBA_C_OPTICS《をフォルダーごとコピーし、 C:\Program Filesフォルダー内貼り付けてください。
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\VBA_C近接露光.dll
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\IN_FM.txt
が存在する必要があります。
（２） VBA_C近接露光計算.xlsは保存場所の制限がありません。
（３）本プログラムの削除方法
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\VBA_C近接露光.dll
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\IN_FM.txt
を削除してください。
４．プログラムの起動方法
（１）VBA_C近接露光計算.xlsをダブルクリックで起動します。この時マクロは有効にして開いて下さい。
（２）計算条件設定シート「IN_FM《の計算条件を設定します。
（３）計算実行ボタンをクリックします。
近接露光演習1問題：図11.1近接露光演習1に示す開口の回折条件において、照明角度分布が±0rad、±0.015rad、±0.03radの場合の観測面での光強度分布を求めよ。
観測面では±20μmの範囲を40分割し1μm刻みで計算するものとする。
また、光の波長は404.7nmとします。
解答：
（１）表11-1に示す入力条件表を作成します。
シート「近接露光演習1《を参照願います。
（２）ファイル「VBA_C近接露光計算.xls《を開き、シート「IN_FM《にシート「近接露光演習1《を貼り付けます。
（３）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（４）INA=0radの計算実行結果を確認します。
（５）シート「IN_FM《をINA=0.015radに変更します。
（６）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（７）INA=0.015radの計算実行結果を確認します。
（８）シート「IN_FM《をINA=0.03radに変更します。
（９）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（１０）INA=0.03radの計算実行結果を確認します。
近接露光演習1の計算結果を図13-2、13-3、13-4に示します。
・照明角度分布が±0rad場合、光の干渉の影響が強く、パターンがぎざぎざになることがわかります。
・照明角度分布が±0.015rad場合、光の干渉の影響が軽減され、分布が滑らかになります。
・照明角度分布が±0.03rad場合、光の傾斜の影響が強くなり、分布が広がってしまいます。
パターンサイズ、ギャップ量、波長により最適な照明角度分布の値が存在します。
１４章：近接露光計算演習（2）に行く。