14章:近接露光計算演習(2)

  1. 近接露光演習2
    問題:図14-1近接露光演習2に示す開口の回折条件において、照明角度分布が±0rad、±0.015rad、±0.03radの場合の観測面での光強度分布を求めよ。
     観測面では±20μmの範囲を40分割し1μm刻みで計算するものとする。
     また、光の波長は404.7nmとします。

    解答:
    (1)表14-1に示す入力条件表を作成します。
    シート「近接露光演習2」を参照願います。



    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「近接露光演習2」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)INA=0radの計算実行結果を確認します。

    (5)シート「IN_FM」をINA=0.015radに変更します。
    (6)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (7)INA=0.015radの計算実行結果を確認します。

    (8)シート「IN_FM」をINA=0.03radに変更します。
    (9)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (10)INA=0.03radの計算実行結果を確認します。

     近接露光演習2のパターンにおいてもパターンサイズ、ギャップ量、波長により最適な照明角度分布の値が存在します。



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