近接露光演習2問題：図14-1近接露光演習2に示す開口の回折条件において、照明角度分布が±0rad、±0.015rad、±0.03radの場合の観測面での光強度分布を求めよ。
観測面では±20μmの範囲を40分割し1μm刻みで計算するものとする。
また、光の波長は404.7nmとします。
解答：
（１）表14-1に示す入力条件表を作成します。
シート「近接露光演習2《を参照願います。
（２）ファイル「VBA_C近接露光計算.xls《を開き、シート「IN_FM《にシート「近接露光演習2《を貼り付けます。
（３）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（４）INA=0radの計算実行結果を確認します。
（５）シート「IN_FM《をINA=0.015radに変更します。
（６）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（７）INA=0.015radの計算実行結果を確認します。
（８）シート「IN_FM《をINA=0.03radに変更します。
（９）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（１０）INA=0.03radの計算実行結果を確認します。
近接露光演習2のパターンにおいてもパターンサイズ、ギャップ量、波長により最適な照明角度分布の値が存在します。
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