15章:近接露光計算演習(3)

  1. 近接露光演習3
    問題:図15-1近接露光演習3に示す開口の回折条件において、パターン面と観察面の間隔がb=40、b=60、b=80μmの場合の光強度分布を求めよ。

    照明角度分布は±0.01radとし、観測面では±40μmの範囲を40分割し1μm刻みで計算するものとする。
     また、光の波長は404.7nmとします。

    解答:
    (1)表15-1に示す入力条件表を作成します。
    シート「近接露光演習3」を参照願います。



    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「近接露光演習3」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)b=40μmの計算実行結果を確認します。

    (5)シート「IN_FM」をb=60μmに変更します。
    (6)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (7) b=60μmの計算実行結果を確認します。

    (8)シート「IN_FM」をb=80μmに変更します。
    (9)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (10) b=80μmの計算実行結果を確認します。


     通常の8μmラインアンドスペースパターン近接露光した場合、パターン面と観察面の間隔が小さいほど鮮鋭な像を得ることができますが、b=80μmでもほぼ十分な像が得られます。



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