16章:近接露光計算演習(4)

  1. 近接露光演習4
    問題:図16-1近接露光演習4に示す開口の回折条件において、パターン面と観察面の間隔がb=40、b=60、b=80μmの場合の光強度分布を求めよ。
    (8μmラインアンドスペース位相シフトパターン)

    照明角度分布は±0.01radとし、観測面では±40μmの範囲を40分割し1μm刻みで計算するものとする。
     また、光の波長は404.7nmとします。

    解答:
    (1)表16-1に示す入力条件表を作成します。
    ファイルシート「近接露光演習4」を参照願います。



    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「近接露光演習4」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)b=40μmの計算実行結果を確認します。

    (5)シート「IN_FM」をb=60μmに変更します。
    (6)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (7) b=60μmの計算実行結果を確認します。

    (8)シート「IN_FM」をb=80μmに変更します。
    (9)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (10) b=80μmの計算実行結果を確認します。


     近接露光演習4は近接露光でも位相シフトマスクの適用が可能であることを示しています。しかし、パターンを解像できるパターン面と観察面の間隔が極めて狭い範囲に限定されるため、実用性には問題があります。



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