17章:近接露光計算演習(5)

  1. 近接露光演習5
    問題:図17-1近接露光演習5に示す開口の回折条件において、パターン面と観察面の間隔がb=40、b=60、b=80μmの場合の光強度分布を求めよ。
    (ホール位相シフトパターン)

    照明角度分布は±0.01radとし、観測面では±40μmの範囲を40分割し1μm刻みで計算するものとする。
     また、光の波長は404.7nmとします。

    解答:
    (1)表17-1に示す入力条件表を作成します。
    シート「近接露光演習5」を参照願います。



    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「近接露光演習5」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)b=40μmの計算実行結果を確認します。

    (5)シート「IN_FM」をb=60μmに変更します。
    (6)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (7) b=60μmの計算実行結果を確認します。

    (8)シート「IN_FM」をb=80μmに変更します。
    (9)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (10) b=80μmの計算実行結果を確認します。


     近接露光演習5に示すように、離散的なホールパターンについては、位相シフトマスクを用いて解像度を向上することが可能です。
     近接露光演習5の条件においては、パターン面と観察面の間隔が40~80μmの範囲で良好な解像が期待できます。



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