近接露光演習5問題：図17-1近接露光演習5に示す開口の回折条件において、パターン面と観察面の間隔がb=40、b=60、b=80μmの場合の光強度分布を求めよ。
（ホール位相シフトパターン）
照明角度分布は±0.01radとし、観測面では±40μmの範囲を40分割し1μm刻みで計算するものとする。
また、光の波長は404.7nmとします。
解答：
（１）表17-1に示す入力条件表を作成します。
シート「近接露光演習5《を参照願います。
（２）ファイル「VBA_C近接露光計算.xls《を開き、シート「IN_FM《にシート「近接露光演習5《を貼り付けます。
（３）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（４）b=40μmの計算実行結果を確認します。
（５）シート「IN_FM《をb=60μmに変更します。
（６）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（７） b=60μmの計算実行結果を確認します。
（８）シート「IN_FM《をb=80μmに変更します。
（９）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（１０） b=80μmの計算実行結果を確認します。
近接露光演習5に示すように、離散的なホールパターンについては、位相シフトマスクを用いて解像度を向上することが可能です。
近接露光演習5の条件においては、パターン面と観察面の間隔が40～80μmの範囲で良好な解像が期待できます。
１８章：投影光学系における回折理論に行く。