投影露光演算プログラムのダウンロード以下の章を実行するには、下記の投影露光計算プログラムをダウンロード する必要があります。
ダウンロード後はダブルクリックで解凍してから使用してください。
「投影露光計算プログラムをダウンロードする。１． ファイル構成
（１）VBA_C_OPTICSフォルダー
（1-1）VBA_C投影露光.dll
・投影露光の演算を実行します。
（1-2）IN_FM.txt
・投影露光の演算パラメータの受け渡しを行います。
（毎回書き換えられますので、内容はなんでもOKです。）
（２）VBA_C投影露光計算.xls
・演算パラメータの設定
・投影露光の演算開始（VBA_C投影露光.dllを起動）
・演算結果の表示
２． 動作環境・使用条件
（１）本プログラムの動作条件
・動作環境：Windows98,WindowsXP
・EXCEL97以上のバージョンのプログラムが実装されている必要があります。
３．設定方法
(１)フォルダー「VBA_C_OPTICS《をフォルダーごとコピーし、 C:\Program Filesフォルダー内貼り付けてください。
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\VBA_C投影露光.dll
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\IN_FM.txt
が存在する必要があります。
（２） VBA_C投影露光計算.xlsは保存場所の制限がありません。
（３）本プログラムの削除方法
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\VBA_C投影露光.dll
を削除してください。
４．プログラムの起動方法
（１）VBA_C投影露光計算.xlsをダブルクリックで起動します。この時マクロは有効にして開いて下さい。
（２）計算条件設定シート「IN_FM《の計算条件を設定します。
（３）計算実行ボタンをクリックします。
投影露光光強度計算プログラムのパターンデータ作成上の注意点投影露光光強度計算プログラムは演算にフーリエ変換を用いているため、自動的に定義領域が周期的に繰り替えされます。従って、周期性を考慮してパターンデータを作成する必要があります。
（１）ホールパターンの繰り返し配置の場合
実際のパターン配置が図19-1aの場合、パターンデータは図19-1bに示すように作成します。
（２）ラインパターンの繰り返し配置の場合
実際のパターン配置が図19-2aの場合、パターンデータは図19-2bに示すように作成します。
２０章：投影露光計算演習（1）に行く。