19章:投影露光演算プログラム

  1. 投影露光演算プログラムのダウンロード
     以下の章を実行するには、下記の投影露光計算プログラムをダウンロード する必要があります。

     ダウンロード後はダブルクリックで解凍してから使用してください。
     
    「投影露光計算プログラムをダウンロードする。

    1. ファイル構成
    (1)VBA_C_OPTICSフォルダー
    (1-1)VBA_C投影露光.dll
    ・投影露光の演算を実行します。

    (1-2)IN_FM.txt
    ・投影露光の演算パラメータの受け渡しを行います。
    (毎回書き換えられますので、内容はなんでもOKです。)

    (2)VBA_C投影露光計算.xls
      ・演算パラメータの設定
    ・投影露光の演算開始(VBA_C投影露光.dllを起動)
    ・演算結果の表示

    2. 動作環境・使用条件
    (1)本プログラムの動作条件
    ・動作環境:Windows98,WindowsXP
    ・EXCEL97以上のバージョンのプログラムが実装されている必要があります。

    3.設定方法
    (1)フォルダー「VBA_C_OPTICS」をフォルダーごとコピーし、 C:\Program Filesフォルダー内貼り付けてください。
    C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\VBA_C投影露光.dll
    C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\IN_FM.txt
    が存在する必要があります。

    (2) VBA_C投影露光計算.xlsは保存場所の制限がありません。

    (3)本プログラムの削除方法
    C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\VBA_C投影露光.dll
    を削除してください。

    4.プログラムの起動方法
    (1)VBA_C投影露光計算.xlsをダブルクリックで起動します。この時マクロは有効にして開いて下さい。
    (2)計算条件設定シート「IN_FM」の計算条件を設定します。
    (3)計算実行ボタンをクリックします。


  2. 投影露光光強度計算プログラムのパターンデータ作成上の注意点
     投影露光光強度計算プログラムは演算にフーリエ変換を用いているため、自動的に定義領域が周期的に繰り替えされます。従って、周期性を考慮してパターンデータを作成する必要があります。

    (1)ホールパターンの繰り返し配置の場合
     実際のパターン配置が図19-1aの場合、パターンデータは図19-1bに示すように作成します。

    (2)ラインパターンの繰り返し配置の場合
     実際のパターン配置が図19-2aの場合、パターンデータは図19-2bに示すように作成します。




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