20章:投影露光計算演習(1)

  1. 投影露光演習1
    問題:波長365nm、レンズNA0.5、照明σ0.4の無収差で照明光軸ずれのない投影光学系でホールの繰り返しパターンの投影像を計算せよ。
    ホールパターン寸法は0.5μm、配置ピッチは1μm、データの刻み幅は0.025μmとし、 焦点はベストフォーカス、+1.0μm、-1.0μmとする。

    解答:
    (1)表20.1に示す入力条件表を作成します。
    シート「投影露光演習1」を参照願います。


    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「投影露光演習1」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)DF=0μmの計算実行結果を確認します。

    (5)シート「IN_FM」をDF=1μmに変更します。
    (6)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (7) DF=1μmの計算実行結果を確認します。

    (8)シート「IN_FM」をDF=-1μmに変更します。
    (9)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (10)DF=-1μmμmの計算実行結果を確認します。


     (1)図20-1 ベストフォーカス(投影像・図)をみると□0.5μmのホールパターンはほぼ円形に投影されますが、よくみると上下方向に角張っており、データエリアの四隅に弱いスポットができます。これは等ピッチで規則正しく配列されたホールパターンどうしの近接効果の影響です。

    (2)フォーカスが+1.0μmと-1.0μmはほぼ同じコントラストでベストと比較するとコントラストが80%程度に減少します。



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