21章:投影露光計算演習(2)

  1. 投影露光演習2
    問題:波長365nm、レンズNA0.5、照明σ0.4の無収差で照明光軸ずれのない投影光学系でラインの繰り返しパターンの投影像を計算せよ。
    ラインパターン寸法は0.5μm、配置ピッチは1μm、データの刻み幅は0.025μmとし、 焦点はベストフォーカス、+1.0μm、-1.0μmとする。

    解答:
    (1)表21.1に示す入力条件表を作成します。
    シート「投影露光演習2」を参照願います。


    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「投影露光演習2」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)DF=0μmの計算実行結果を確認します。

    (5)シート「IN_FM」をDF=1μmに変更します。
    (6)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (7) DF=1μmの計算実行結果を確認します。

    (8)シート「IN_FM」をDF=-1μmに変更します。
    (9)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (10)DF=-1μmμmの計算実行結果を確認します。


     (1)図20-1 ベストフォーカス(投影像・図)をみると0.5μmのラインの繰り返しパターンは十分解像できることがわかります。よくみると境界部に弱いラインができます。これは等ピッチで規則正しく配列されたラインパターンどうしの近接効果の影響です。

    (2)フォーカスが+1.0μmと-1.0μmはほぼ同じコントラストでベストと比較するとコントラストが80%程度に減少します。



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