22章:投影露光計算演習(3)

  1. 投影露光演習3
    なだらかなコントラスト変化をもつ周期パターン
     光の透過率が三角関数で与えれれるなだらかなコントラスト変化をもつ周期パターンは回折光が特定の角度にでるため光学系の基本特性評価に役立ちます。

    図20-1において
    N データ範囲分割数
    dx データの刻み幅
    Pn 矩形パターン数
    i 矩形パターンNo(0~Pn-1)
    U0r(i) 波動の実数部
    U0i(i) 波動の虚数部
    X1 矩形パターン最小座標
    X2 矩形パターン最大座標
    Y1 矩形パターン最小座標
    Y2 矩形パターン最大座標
    となっています。
      X1、 X2、 U0r(i)を下記式で計算します。



    投影露光演習3
    問題:波長365nm、レンズNA0.5、照明σ0.4の無収差で照明光軸ずれのない投影光学系で図22-1に示すなだらかなコントラスト変化の周期パターンの投影像とフーリエ変換像を計算せよ。
    焦点はベストフォーカスとし、データ範囲分割数(N=40)、 データの刻み幅(dx=0.1)、 矩形パターン数(Pn=40)とする。

    解答:
    (1)表22-1に示す入力条件表を作成します。
    シート「投影露光演習3」を参照願います。


    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「投影露光演習3」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)シート「投影像・図」の結果を確認します。
    (5)シート「フr-リエ振幅・図」の結果を確認します。


    (1)図22-2の投影露光演習7結果(投影像・図)をみるとなだらかなコントラスト変化をもつ4μm周期パターンはほぼ同じコントラスト変化で投影されます。

    (2)図22-3の投影露光演習7結果(フr-リエ振幅・図)は見にくいですが、0次と1次の回折光がほとんどで高次の回折光が少ないことがわかります。(通常の白黒パターンですと高次の回折光がでるため、光学系NA全域の影響をうけますが、 0次と1次の回折光のみですと光学系NAの中心部のみの影響評価が可能となります。)



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