23章:投影露光計算演習(4)

  1. 投影露光演習4(位相シフトパターン)
     位相シフトパターンを用いると解像度を向上できます。

    問題:波長365nm、レンズNA0.5、照明σ0.4の無収差で照明光軸ずれのない投影光学系で図14.13に示す位相シフトパターン(周期パターン)の投影像とフーリエ変換像を計算せよ。
    焦点はベストフォーカスとし、データ範囲分割数(N=40)、 データの刻み幅(dx=0.025)、 矩形パターン数(Pn=3)とする。

    解答: (1)表14.4に示す入力条件表を作成します。 シート「投影露光演習4」を参照願います。




    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「投影露光演習4」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)シート「投影像・図」の結果を確認します。
    (5)シート「フr-リエ振幅・図」の結果を確認します。


    (1)図23-2の投影露光演習4結果(投影像・図)から位相シフトパターンを用いると解像度を向上できることがわかります。(位相シフトパターン→解像度向上)

    (2)図23-3の投影露光演習4結果(フr-リエ振幅・図)から位相シフトパターンでは0次光が極めて弱く±1次光がメインであることがわかります。 (位相シフトパターン→0次光が無し)



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