投影露光演習4（位相シフトパターン）位相シフトパターンを用いると解像度を向上できます。
問題：波長365nm、レンズNA0.5、照明σ0.4の無収差で照明光軸ずれのない投影光学系で図14.13に示す位相シフトパターン（周期パターン）の投影像とフーリエ変換像を計算せよ。
焦点はベストフォーカスとし、データ範囲分割数（N＝40)、 データの刻み幅(dx=0.025)、 矩形パターン数(Pn=3)とする。
解答： （１）表14.4に示す入力条件表を作成します。 シート「投影露光演習4《を参照願います。
（２）ファイル「VBA_C近接露光計算.xls《を開き、シート「IN_FM《にシート「投影露光演習4《を貼り付けます。
（３）シート「操作《の「計算実行《ボタンを押します。
（４）シート「投影像・図《の結果を確認します。
（５）シート「ﾌr-ﾘｴ振幅・図《の結果を確認します。
（１）図23-2の投影露光演習4結果（投影像・図）から位相シフトパターンを用いると解像度を向上できることがわかります。（位相シフトパターン→解像度向上）
（２）図23-3の投影露光演習4結果（ﾌr-ﾘｴ振幅・図）から位相シフトパターンでは0次光が極めて弱く±1次光がメインであることがわかります。 （位相シフトパターン→0次光が無し）
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