24章:投影露光計算演習(5)

  1. 投影露光演習5(段差パターン)
     傾斜を持った段差パターンは図24-1に示すように、傾斜部を階段状に分割して作成します。


    問題:波長365nm、レンズNA0.5、照明σ0.4の無収差で照明光軸ずれのない投影光学系で図24-1に示す段差パターン(周期パターン)の投影像を計算せよ。
    段差底部寸法は0.5μm、段差上部寸法は1μmとし、段差深さは0.2μmで計算せよ。焦点はベストフォーカスとし、データ範囲分割数(N=40)、 データの刻み幅(dx=0.05) とする。

    解答:
     この問題の条件のパターンデータを作成するのはやっかいです。入力条件表を白紙の状態から作成するのは能率的ではありませんのでシート「投影露光演習5」をコピー、貼り付けを行なって計算してください。
    (1)表24-1に示す入力条件表を作成します。
    シート「投影露光演習5」を参照願います。


    (2)ファイル「VBA_C近接露光計算.xls」を開き、シート「IN_FM」にシート「投影露光演習5」を貼り付けます。
    (3)シート「操作」の「計算実行」ボタンを押します。
    (4)シート「投影像・図」の結果を確認します。
    (5)シート「フr-リエ振幅・図」の結果を確認します。


    (1)図24-2の結果をみると投影像のコントラストは段差の傾斜部が暗くなることがわかります。

    (2)図24-3から回折光は大きな角度まで広がっていることがわかります。




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