ミラー＋レンズの光線追跡の計算プログラムのダウンロード以下の演習を実行するには、下記の演習プログラムをダウンロード する必要があります。
ダウンロード後はダブルクリックで解凍してから使用してください。
「演習プログラム《をダウンロードする。動作条件としては
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\VBA_C光線追跡.dll
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\IN_FM.txt
C:\Program Files\VBA_C_OPTICS\IN_FM2.txt
が存在する必要があります。
３次元光線追跡プログラムの起動（１）VBA_C光線追跡-2.xlsをダブルクリックで起動します。この時マクロは有効にして開いて下さい。
計算条件設定シート「IN_FM《の作成（１）シート「IN_FM (演習3)《の全体をコピーし、シート「IN_FM《に貼り付けます。
以下の表が完成します。
図38-1 ミラー＋レンズの IN_FM
スポットダイアグラム計算実行（１）シート「操作《の「スポットダイアグラム計算実行《ボタンを押します。
シート「スポット要約《の確認以下の計算結果が表示されます。
図38-2 像高50mmのスポット要約
シート「光線図《の確認
図38-3 像高50mmの光線図
シート「スポット図《の確認
図38-4 像高50mmのスポット図
波面収差計算実行（１）シート「操作《の「波面収差計算実行《ボタンを押します。
波面収差の確認各波長でのXY方向波面収差を纏めると下記の表のようになります。
| 435.8nm-X | 435.8nm-Y | 404.7nm-X | 404.7nm-Y | 365nｍ-X | 365nｍ-Y | |
| 0次 | 5.67E-07 | 1.95E-07 | 6.21E-07 | 2.17E-07 | 7.04E-07 | 2.47E-07 |
| 1次 | -6.92E-07 | 0.00E+00 | -7.10E-07 | 5.86E-17 | -6.80E-07 | 5.31E-17 |
| 2次 | 1.58E-01 | 3.39E-02 | 8.50E-02 | -1.35E-01 | 2.91E-01 | -1.14E-01 |
| 3次 | 4.03E-05 | 0.00E+00 | -2.75E-05 | -2.85E-16 | -1.39E-04 | -2.26E-16 |
| 4次 | -1.04E-01 | 2.69E-02 | -1.01E-01 | 4.23E-02 | -9.08E-02 | 7.20E-02 |
| 5次 | 5.82E-06 | 0.00E+00 | 9.25E-06 | 2.40E-16 | 2.51E-05 | 1.85E-16 |
| 6次 | 2.14E-03 | 5.06E-03 | 2.27E-03 | 5.44E-03 | 2.44E-03 | 6.02E-03 |
像高40mmの特性評価（１）シート「IN_FM《を選択します。
（２）セルC9のX0の値を50→40に変更します。
像高40mmのシート「スポット図《の確認（１）シート「操作《の「スポットダイアグラム計算実行《ボタンを押します。
図38-5 像高40mmのスポット図
像高40mmの波面収差の確認（１）シート「操作《の「スポットダイアグラム計算実行《ボタンを押します。
各波長でのXY方向波面収差を纏めると下記の表のようになります。
| 435.8nm-X | 435.8nm-Y | 404.7nm-X | 404.7nm-Y | 365nｍ-X | 365nｍ-Y | |
| 0次 | 4.08E-07 | 1.78E-07 | 4.45E-07 | 1.94E-07 | 5.06E-07 | 2.23E-07 |
| 1次 | -1.47E-07 | 4.45E-17 | -1.19E-07 | 6.18E-17 | -5.50E-08 | 1.03E-16 |
| 2次 | 6.22E-02 | 3.24E-02 | -6.17E-02 | -1.49E-01 | 4.73E-02 | -1.52E-01 |
| 3次 | 2.88E-04 | -1.48E-16 | 2.19E-04 | -3.05E-16 | 8.87E-05 | -4.32E-16 |
| 4次 | -4.56E-02 | 3.54E-02 | -3.69E-02 | 5.16E-02 | -1.83E-02 | 8.26E-02 |
| 5次 | -3.13E-05 | 1.06E-16 | -3.27E-05 | 2.63E-16 | -2.85E-05 | 3.46E-16 |
| 6次 | 3.44E-03 | 5.25E-03 | 3.68E-03 | 5.65E-03 | 4.03E-03 | 6.25E-03 |
像高30mmの特性評価（１）シート「IN_FM《を選択します。
（２）セルC9のX0の値を40→30に変更します。
像高30mmのシート「スポット図《の確認（１）シート「操作《の「スポットダイアグラム計算実行《ボタンを押します。
図38-6 像高30mmのスポット図
像高30mmの波面収差の確認（１）シート「操作《の「スポットダイアグラム計算実行《ボタンを押します。
各波長でのXY方向波面収差を纏めると下記の表のようになります。
| 435.8nm-X | 435.8nm-Y | 404.7nm-X | 404.7nm-Y | 365nm-X | 365nm-Y | |
| 0次 | 2.88E-07 | 1.62E-07 | 3.15E-07 | 1.76E-07 | 3.58E-07 | 2.02E-07 |
| 1次 | 8.04E-08 | -1.48E-16 | 1.11E-07 | 2.40E-16 | 1.75E-07 | -4.13E-17 |
| 2次 | 2.86E-02 | 3.34E-02 | -1.32E-01 | -1.58E-01 | -9.30E-02 | -1.79E-01 |
| 3次 | 2.03E-05 | 5.80E-16 | -7.35E-05 | -8.95E-16 | -2.50E-04 | 1.27E-16 |
| 4次 | -2.60E-03 | 4.18E-02 | 1.01E-02 | 5.86E-02 | 3.52E-02 | 9.06E-02 |
| 5次 | -5.35E-05 | -4.52E-16 | -5.77E-05 | 6.88E-16 | -6.05E-05 | -8.28E-17 |
| 6次 | 4.40E-03 | 5.39E-03 | 4.72E-03 | 5.80E-03 | 5.21E-03 | 6.42E-03 |
像高20mmの特性評価（１）シート「IN_FM《を選択します。
（２）セルC9のX0の値を30→20に変更します。
像高20mmのシート「スポット図《の確認（１）シート「操作《の「スポットダイアグラム計算実行《ボタンを押します。
図38-7 像高20mmのスポット図
像高20mmの波面収差の確認（１）シート「操作《の「スポットダイアグラム計算実行《ボタンを押します。
各波長でのXY方向波面収差を纏めると下記の表のようになります。
| 435.8nm-X | 435.8nm-Y | 404.7nm-X | 404.7nm-Y | 365nm-X | 365nm-Y | |
| 0次 | 2.05E-07 | 1.50E-07 | 2.24E-07 | 1.65E-07 | 2.57E-07 | 1.89E-07 |
| 1次 | 1.18E-07 | -4.45E-17 | 1.38E-07 | 4.45E-17 | 1.97E-07 | -1.75E-16 |
| 2次 | 2.62E-02 | 3.52E-02 | -1.59E-01 | -1.63E-01 | -1.67E-01 | -1.97E-01 |
| 3次 | -1.92E-04 | 1.48E-16 | -2.86E-04 | -1.48E-16 | -4.59E-04 | 5.70E-16 |
| 4次 | 2.69E-02 | 4.63E-02 | 4.24E-02 | 6.36E-02 | 7.20E-02 | 9.62E-02 |
| 5次 | -5.29E-05 | -1.06E-16 | -5.75E-05 | 1.06E-16 | -6.25E-05 | -4.02E-16 |
| 6次 | 5.06E-03 | 5.49E-03 | 5.44E-03 | 5.91E-03 | 6.02E-03 | 6.55E-03 |
像高10mmの特性評価（１）シート「IN_FM《を選択します。
（２）セルC9のX0の値を20→10に変更します。
像高10mmのシート「スポット図《の確認（１）シート「操作《の「スポットダイアグラム計算実行《ボタンを押します。
図38-8 像高10mmのスポット図
像高10mmの波面収差の確認（１）シート「操作《の「スポットダイアグラム計算実行《ボタンを押します。
各波長でのXY方向波面収差を纏めると下記の表のようになります。
| 435.8nm-X | 435.8nm-Y | 404.7nm-X | 404.7nm-Y | 365nm-X | 365nm-Y | |
| 0次 | 1.58E-07 | 1.44E-07 | 1.71E-07 | 1.58E-07 | 1.99E-07 | 1.82E-07 |
| 1次 | 6.68E-08 | 0.00E+00 | 9.51E-08 | 4.45E-17 | 1.32E-07 | 1.06E-16 |
| 2次 | 3.35E-02 | 3.68E-02 | -1.65E-01 | -1.65E-01 | -2.01E-01 | -2.08E-01 |
| 3次 | -1.79E-04 | 0.00E+00 | -2.37E-04 | -1.48E-16 | -3.44E-04 | -4.52E-16 |
| 4次 | 4.42E-02 | 4.90E-02 | 6.12E-02 | 6.65E-02 | 9.35E-02 | 9.95E-02 |
| 5次 | -3.22E-05 | 0.00E+00 | -3.50E-05 | 1.06E-16 | -3.85E-05 | 3.70E-16 |
| 6次 | 5.44E-03 | 5.55E-03 | 5.86E-03 | 5.97E-03 | 6.49E-03 | 6.62E-03 |
ミラー＋レンズの光線追跡のまとめ（１）スポットダイアグラムは像高10mm～50mmの広範囲で良好な収束特性を示します。
（２）波面収差の分析において、
像高50mm 波長365nm X方向:0.291λ Y方向:-0.114λ
の1点を除き、0.25λを満足しており波面収差は良好です。
本光学系はNA0.09であり、理論解像度は約3μmとなります。
こおため、微細パターンの転写には適しませんが、下記の特徴があります。
・ghiの3波長の照明光源が使用できる。（このため、照度が高くなります。）
・投影領域は半円状となるがΦ100mmの広い投影が可能。
・光学系の構造がシンプル。
・完全両側テレセントリック光学系のため、像歪が非常に小さい。（設計上はほぼゼロです。）
以上の特性から、多層配線パターン転写、高密度実装パターン転写の低コスト化に 有効な光学系です。
３９章：照明光学系の基本構成に行く。