39章:照明光学系の基本構成

  1. 照明光学系の基本構成
     投影光学系には、その仕様にあった照明光学系が必要となります。
     照明光学系に要求される主な性能は以下の通りです。
    (1)波長特性
    (2)照明領域(フィールドサイズ)
    (3)照明NA
    (4)照度
    (5)照度分布

     これらの性能を効率的に実現する照明光学系として、下記の図に示す光学系 が代表的です。


     図39-1において
    図39-1に照明系の基本構成を示します。
    (1)光源は超高圧水銀ランプが用いられます。(光源は点光源に近く強い発光が理想です。)
    (2)水銀ランプからでた光は楕円面鏡でフライアイレンズに集光します。 (3)フライアイレンズは入射側と出射側が凸レンズになっています。(入射側と出射側が凸レンズはそれぞれ、焦点位置がレンズ面に一致させてあります。)
    (4)フライアイレンズのすぐ後には、照明σ絞りが設置されます。
    (5)照明σ絞りを通過した光は、第2集光レンズで集光され、照明面に照射されます。

     以上の構成で要求される性能をするには、各光学要素の最適化設計が不可欠となります。




40章:水銀ランプの選定に行く。

トップページに戻る。