43章:フライアイレンズの設計

  1. フライアイレンズの選択
     フライアイレンズは多数必要となるため、大変高価な部品となります。
     また、強い光が照射されるため、劣化の少ない合成石英を選択しました。
     選択したレンズの仕様を下記表に示します。
    タイプ 合成石英
    D [mm] φ15
    f [mm] 50
    tc [mm] 3.3
    te [mm] 2
    fb [mm] 47.8
    r [mm] 23
    偏心 1分以内
    品番 SLSQ-15-50P
    価格 [\] 7200

  2. フライアイレンズの特性評価
     下記表の条件で平凸レンズの特性を計算します。
    No 記号 値 説明
    1 Dia 15 レンズ直径(mm)
    2 Tc 3.3 中心厚(mm)
    3 R0 23 曲率半径(mm)
    4 N0 1.469664 屈折率
    5 NJ 5 変数範囲の分割数
    6 WL 404.7 設計波長(nm)

     平凸レンズの特性計算結果を下記表に示します。
    No 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1
    平行光線の半径 H(mm) 0.00 1.50 3.00 4.5 6.00 7.50
    正方向焦点距離 F(mm) 48.97 48.90 48.69 48.3 47.82 47.16
    正方向後側焦点距離 Fb(mm) 46.73 46.67 46.48 46.2 45.75 45.18
    正方向波面収差 OL(λ) 0.00 -0.03 -0.57 -2.9 -9.65 -24.71
    正方向出射角度 U(rad) 0.00 0.03 0.06 0.1 0.13 0.16
    逆方向焦点距離 F(mm) 48.97 48.82 48.35 47.6 46.45 44.95
    逆方向後側焦点距離 Ff(mm) 48.97 48.75 48.06 46.9 45.26 43.07
    逆方向波面収差 OL(λ) 0.00 -0.13 -2.17 -11.6 -39.42 -106.64
    逆方向出射角度 U(rad) 0.00 0.03 0.06 0.1 0.13 0.17

  3. フライアイレンズの配置寸法
     上記計算結果のFbの値を参考に下記図の寸法で配置します。

     フライアイレンズの幅は
     Fx=10 mm
     Fy=6 mm
     です。

  4. 照明σ絞り後の光源像
     どのような像ができるかは、単純計算が難しいため、光線追跡によるシミュレーションを行います。
     光源は直径3mm、高さ3mmの円筒形を仮定します。
     フライアイレンズは上記の仕様で複数個配置します。
     >照明σ絞りの直径はΦ60mmとします。
     光源から多数の光線を発射し、一定の領域内に入った光線の数を数えます。十分な精度はありませんが、おおまかな傾向が把握できます。

     図43-2に照明σ絞り後の(5mm/div)での照度分布を示します。

    図43-2 照明σ絞り後の照度分布(5mm/div)

    図43-3に照明σ絞り後の(0.01rad/div)での照度分布を示します。

    図43-3 照明σ絞り後の光線角度分布(0.01rad/div)

    発射光線数=31718
    透過光線数= 29662
    透過率= 89.0%
    照度の最大値=522
    全出力=223W
    照度の目盛=5mm/div
    であり、
    最大照度= 111.5×522×4/33328=7.0W/cm2 となります。





44章:集光レンズの設計に行く。

トップページに戻る。