「キャノン販売」にジャンプする。日本国内向けの キャノン製品全般を紹介している。アクセス例：
FPA-5000AS1主な製品仕様
ウエハーサイズ 最大300mm
レチクルサイズ □6インチ
縮小比 1/4倍
NA（開口数） 0.60〜0.40 （自動可変）
画面サイズ 26mm×33mm
焼き付け波長 193ナノメートル
光源 ArFエキシマレーザー
解像力 0.13マイクロメートル以下
トータルオーバーレイ精度 m+3σ≦35ナノメートル
FPA-4000ES1の主な製品仕様
ウエハーサイズ 最大8インチ
レチクルサイズ 口6インチ
縮小比 1/4倍
NA（開口数） 0.63
画面サイズ 25mm×33mm
焼き付け波長 248ナノメートル
光源 1.0KHz KrFエキシマレーザー
解像力 0.25ミクロン以下
オートアライメント方式 Off-axis画像処理方式、TTL Off-axis画像処理方式
トータルオーバーレイ精度 70ナノメートル以下
スループット 80枚／時間（8インチウエハー、26ショット、レジスト感度 50mJ／cm2時）
大きさ 1,900mm（幅）×2,800mm（奥行き）×2,450mm（高さ）
重さ 7,500kg
「ニコン」にジャンプする。日本国内向けの ニコン製品全般を紹介している。アクセス例：
NSR-S203B 主な仕様
ウエハーサイズ 最大300mm
解像度 0.18μm
N.A.（開口数） 0.68
露光光源 KrFエキシマレーザ（波長248nm）
縮小倍率 １ / 4 倍
露光範囲 25×33mm
総合アライメント精度 40nm 以下（｜x｜＋3σ）
NSR-S202A 主な仕様
解像度 0.25μｍ以下
露光光源 KrFエキシマレーザ（248nm ）
縮小倍率 1 / 4倍
総合アライメント精度 （EGA,|~ｘ|+3σ）45nm以下
スループット （8インチ(200mm)ウェハ換算）80枚/時以上
「ASM Lithography」にジャンプする。specializes in photolithography with an installed base of more than 600 systems at customer sites around the world.「ASM Lithographyの露光装置紹介」PAS 5500/900詳細資料
アクセス例：
PAS 5500/900 specifications
Resolution 0.15μm
Field size 26 x 33mm
Wavelength 193.368nm
Reduction 4X
NA 0.60 - 0.45
Dynamic distortion 25nm
Overlay, single machine 40nm
Overlay, matched toPAS 5500/500 60nm
Throughput,200 mm wafers, 46 shots @10 mJ/cm 2 40(WPH)
PAS 5500/500 DUV Step & Scan system仕様
Lens NA Variable 0.40 to 0.63
Lens Resolution 0.22μm
Field Size X & Y 26 X 33mm
Overlay 2pt. Global Alignment <45nm
Throughput 200mm Wafers 46 Exp., 30mJ/cm2 >96wph
「大日本スクリーン製造(株) 」にジャンプする。日本スクリーン製造(株)の製品紹介」アクセス例：
D-SPIN200は、これまで8インチスピンナに求められてきた多様なニーズに対する回答を1台に集約した、完成度の高いコータ・デベロッパです。今後主流になると考えられる化学増幅型レジストにも対応します。また、無駄のないレイアウトを可能にした新設計思想、ランニングコストを低減させる省レジスト機構、生産性を高める新搬送システム、装置の保守を容易にする各種メンテナンス専用パネルなどにより、C.O.O.を大幅に低減させました。さらに、管理できないパラメータを極力排除し、装置の長期安定化も実現。レジスト塗布均一性、ＣＤ均一性、パーティクルなどについて、長期にわたり高い性能が維持できます。
「東京エレクトロン(株)」にジャンプする。東京エレクトロン(株)の製品紹介」アクセス例：
主な自社開発製品
酸化／拡散・LP-CVD装置
コータ／デベロッパ
スクラバーシステム
キャリアレス洗浄装置
エッチング装置
ウェーハプローバ
メタルCVD装置
ECR CVD装置
プロービングカード
「東京応化工業」にジャンプする。東京応化工業の会社概要」「住友化学工業(株) 」にジャンプする。住友化学工業(株) の会社概要」「日立化成工業(株) 」にジャンプする。日立化成工業(株) の会社概要」
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