離型処理剤の分子構造図20-1に離型処理剤の基本分子構造を示します。
離型処理剤はシランカップリングのRの部分が パーフルオロエーテル基:F-(CF2CF2CF2O)n- CF2CF2- になっています。(2011年１０月１１日訂正しました。）
パーフルオロエーテル基は数百個つながっています。
また、パーフルオロエーテル基は摩擦係数の小さい物質 で優れた離型性をしめします。
シリコン、石英、ガラス、樹脂、金属等への結合の原理は１８章と同じです。
離型処理後はパーフルオロエーテル基はがじゅうたんのようにひきつめられた構造となり、膜厚 は2〜3nm程度です。
２１章：ナノインプリントの原理に行く。