ナノインプリントの材料とプロセス

    作成2011.09.24〜
    2010.12.06〜

    　ナノインプリントの材料とプロセスについて考えてみましょう！！

    　

  1. １章：表面活性化処理に行く。
  2. ２章：２章：石英スタンパの処理に行く。
  3. ３章：カップリング処理に行く。
  4. ４章：トリモチとレプリカに行く。
  5. ５章：ノーマル薄膜用のスピンコートレジストに行く。
  6. ６章：ノーマル厚膜用のスピンコートレジストに行く。
  7. ７章：Si系薄膜用のスピンコートレジストに行く。
  8. ８章：２層レジストプロセスに行く。
  9. ９章：反転レジストプロセスに行く。
    １０章：熱膨張誤差の制御に行く。
    工学関係の雑学７章：加圧によるレジスト流動に行く。2011.11.04



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小森谷　進


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